低压扩散在晶硅太阳电池中的应用

 

 

摘要:低压扩散是一种通过改善炉管气密性、增加真空系统实现的扩散方式，真空系
统提供低压力氛围，从而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高扩散均匀性、稳定性
和成膜致密性；通过低压扩散工艺，可以获得均匀的p-n 结结构，更易实现浅结高方
阻扩散工艺，提升电池转换效率。同时低压扩散以其优异的方阻均匀性大大提高单
管产能，降低制造成本。

 

田松兴 董广斌 李宝磊 

晶澳(扬州)太阳能科技有限公司

原标题：低压扩散在晶硅太阳电池中的应用 

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