低压扩散在晶硅太阳电池中的应用

低压扩散是一种通过改善炉管气密性、增加真空系统实现的扩散方式，真空系统提供
低压力氛围，从而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高扩散均匀性、稳定性和成膜致
密性；通过低压扩散工艺，可以获得均匀的p-n 结结构，更易实现浅结高方阻扩散工
艺，提升电池转换效率。同时低压扩散以其优异的方阻均匀性大大提高单管产能，降
低制造成本。